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激光切割機的電火花加工是一個非常復雜的過程，其微觀過程是熱力、流體力、電場力、磁力、電化學等綜合作用的結果。這一過程主要分為以
下兒個階段:
極間介質的電離、擊穿，并形成放電通道。自動調節裝置控制工具電極向工件緩慢靠近，兩極間形成的電場隨著距離的減小逐步增大，當兩極間距離達到合適的放電間隙(通常為兒微米到幾百微
米)時，由于兩電極微觀表面的凹凸不平，導致兩極間電場不均勻，在距離 近的兩點間電場強度 大，工作液介質中的雜質(如金屬微粒)及自由電子在強大電場作用下，產生碰撞電離，形成帶負電和帶正電的粒子，帶電粒子達到一定數量后導致工作液介質電離、擊穿，形成放電通道。
激光切割機的通道間介質的電離消除。一次脈沖放電結束后，保留一段間隔時間，使通道間介質的電離消除，帶電粒子恢復為中性粒子，等待下一次脈沖放電的開始，同時及時有效地排出被蝕除下來的金屬微粒、碳粒子、氣泡等。因此，為了保證電火花加工的正常進行，在兩次脈沖放電之間必須有足夠的脈沖間隔時間，其大小根據加工具體情況進行調節，脈沖間隔時間的長短影響加工質量和加工效率。